BEGIN:VCALENDAR
VERSION:2.0
PRODID:-//CERN//INDICO//EN
BEGIN:VEVENT
SUMMARY:Ионный источник имплантера ионов ТМ
 200Т
DTSTART;VALUE=DATE-TIME:20260512T034000Z
DTEND;VALUE=DATE-TIME:20260512T040000Z
DTSTAMP;VALUE=DATE-TIME:20260819T062459Z
UID:indico-contribution-3558@indico.inp.nsk.su
DESCRIPTION:Speakers: Орлов  А.М. (Магистратура\, 1 к
 урс)\, Сорокин А.В. (Научный руководитель)\
 nИЯФ СО РАН ведет разработку ускорительн
 ой части ионного имплантера ТМ200Т для по
 лупроводниковой промышленности. Важной 
 частью имплантера является ионный источ
 ник\, в котором происходит генерация и ус
 корение необходимых ионов до требуемой 
 энергии. По проекту ионный источник долж
 ен обеспечить ток пучка ионов 11B величин
 ой равной 20 мА на энергии 80 кэВ\, для чего 
 необходим полный ток ионов вплоть до 200 м
 А на рабочем газе BF3. Для обеспечения пол
 ного ионного тока такой величины предло
 жена оригинальная схема ионного источни
 ка\, основанная на разряде Пеннинга. Фоку
 сировка и извлечение ионного пучка обес
 печиваются щелевой трех-электродной ион
 но-оптической системой с площадью эмисс
 ионной поверхности 50×4 мм2. В работе прив
 едены схема ионного источника и результ
 аты первых экспериментов.\n\nhttps://indico.inp.nsk.
 su/event/144/contributions/3558/
LOCATION:
URL:https://indico.inp.nsk.su/event/144/contributions/3558/
END:VEVENT
END:VCALENDAR