BEGIN:VCALENDAR
VERSION:2.0
PRODID:-//CERN//INDICO//EN
BEGIN:VEVENT
SUMMARY:Цельнометаллические микроструктур
 ные элементы управления терагерцовым из
 лучением
DTSTART;VALUE=DATE-TIME:20200713T135600Z
DTEND;VALUE=DATE-TIME:20200713T135700Z
DTSTAMP;VALUE=DATE-TIME:20261016T151916Z
UID:indico-contribution-1836@indico.inp.nsk.su
DESCRIPTION:Speakers: Сергей Кузнецов ()\nА.Н. Генце
 лев1\, С. А. Кузнецов1\,2\,3\, Ф.Н. Дульцев3\,4  \n1
  Институт ядерной физики им. Будкера Сиб
 ирского отделения Российской академии н
 аук\, 630090\, Новосибирск\, просп. Академика 
 Лаврентьева\, 11\n2 проектно-технологическ
 ий институт прикладной микроэлектроник
 и\, 630090\, Новосибирск\, просп. Академика Ла
 врентьева\, 2/1\n3 Новосибирский государст
 венный университет\, 630090\, Новосибирск\, у
 л. Пирогова\, 2 \n4 Институт физики полупро
 водников им. А.В. Ржанова Сибирского отде
 ления Российской академии наук (ИФП СО Р
 АН)\, 630090\, Новосибирск\, просп. Академика 
 Лаврентьева\, 13\n\nОписаны конструкция и с
 пособы изготовления самонесущих сеточн
 ых структур\, используемых в качестве кв
 азиоптических селективных элементов дл
 я управления электродинамическими хара
 ктеристиками пучков излучения в диапазо
 не субтерагерцовых (субТГц) и терагерцов
 ых (ТГц) частот электромагнитного спектр
 а (0\,1÷10 ТГц). Толщина изготавливаемых мик
 роструктур может меняться в диапазоне о
 т 10 до 1000 мкм. Тонкие структуры изготавли
 ваются путём плазмохимического травлен
 ия фольги толщиной 10-30 мкм тяжелых тугоп
 лавких металлов (в частности вольфрама - 
 W и тантала - Ta) через маску\, сформированн
 ую посредством фотолитографии. Толстые 
 микроструктуры толщиной 200-1000 мкм изгота
 вливаются посредством применения глубо
 кой рентгенолитографии и гальванопласт
 ики. Толщина самонесущих сеточных струк
 тур оказывает влияние на АЧХ квазиоптич
 еских селективных элементов\, что иллюст
 рируется расчетными графиками спектрал
 ьной зависимости энергетического коэфф
 ициента пропускания нулевой дифракцион
 ной гармоники для высокочастотных фильт
 ров с шестиугольными отверстиями (сотов
 ая упаковка)\, характеризующихся различн
 ой толщиной металла.\n\nПри выполнении ра
 боты использовалась инфраструктура Цен
 тра коллективного пользования «Сибирск
 ий центр синхротронного и терагерцового
  излучения (СЦСТИ) на базе накопительног
 о комплекса ВЭПП-3/ВЭПП-4М ИЯФ СО РАН\, под
 держанного Министерством образования и 
 науки РФ (проект RFMEFI62117X0012).\nКлючевые сло
 ва: глубокая рентгеновская литография\, L
 IGA-технология\, плазмохимическое травлен
 ие\, микроструктуры\, квазиоптические фи
 льтры\, терагерцовый диапазон.\n\nАлексан
 др Николаевич Генцелев\,\n630090\, Новосибир
 ск\, проспект ак. Лаврентьева\, 11\nЕ-mail: ang120
 9@mail.ru\;  Тел.: (383) 329-41-38\n\nhttps://indico.inp.nsk.su/event/2
 4/contributions/1836/
LOCATION:
URL:https://indico.inp.nsk.su/event/24/contributions/1836/
END:VEVENT
END:VCALENDAR