Alexander Soloviev
(IAP RAS)
Иное
Обычный доклад
Обсуждается комплекс исследований, проводимых в ИПФ РАН в рамках проекта разработки перспективного ЭУФ литографа на 11,2 нм на основе характеристического излучения струи ксенона под действием импульсов твердотельной лазерной системы. Рассматривается общая концепция литографа и ключевые аспекты, обеспечивающие технологическое преимущество по сравнению с наиболее продвинутым конкурентом. В...
