Speaker
Description
А.Н. Генцелев1, С. А. Кузнецов1,2,3, Ф.Н. Дульцев3,4
1 Институт ядерной физики им. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук, 630090, Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
2 проектно-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
3 Новосибирский государственный университет, 630090, Новосибирск, ул. Пирогова, 2
4 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук (ИФП СО РАН), 630090, Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
Описаны конструкция и способы изготовления самонесущих сеточных структур, используемых в качестве квазиоптических селективных элементов для управления электродинамическими характеристиками пучков излучения в диапазоне субтерагерцовых (субТГц) и терагерцовых (ТГц) частот электромагнитного спектра (0,1÷10 ТГц). Толщина изготавливаемых микроструктур может меняться в диапазоне от 10 до 1000 мкм. Тонкие структуры изготавливаются путём плазмохимического травления фольги толщиной 10-30 мкм тяжелых тугоплавких металлов (в частности вольфрама - W и тантала - Ta) через маску, сформированную посредством фотолитографии. Толстые микроструктуры толщиной 200-1000 мкм изготавливаются посредством применения глубокой рентгенолитографии и гальванопластики. Толщина самонесущих сеточных структур оказывает влияние на АЧХ квазиоптических селективных элементов, что иллюстрируется расчетными графиками спектральной зависимости энергетического коэффициента пропускания нулевой дифракционной гармоники для высокочастотных фильтров с шестиугольными отверстиями (сотовая упаковка), характеризующихся различной толщиной металла.
При выполнении работы использовалась инфраструктура Центра коллективного пользования «Сибирский центр синхротронного и терагерцового излучения (СЦСТИ) на базе накопительного комплекса ВЭПП-3/ВЭПП-4М ИЯФ СО РАН, поддержанного Министерством образования и науки РФ (проект RFMEFI62117X0012).
Ключевые слова: глубокая рентгеновская литография, LIGA-технология, плазмохимическое травление, микроструктуры, квазиоптические фильтры, терагерцовый диапазон.
Александр Николаевич Генцелев,
630090, Новосибирск, проспект ак. Лаврентьева, 11
Е-mail: ang1209@mail.ru; Тел.: (383) 329-41-38
